基本參數
| 機架 | 東信噴塑 |
| 腔體 | 進(jìn)口316不銹鋼 |
| 真空泵 | 雙泵組合 |
| 角閥 | 北儀 |
| 流量控制器 | sevenstart |
| 真空顯示儀 | sevenstar |
| 電源匹配器 | 美國COMDEL |
| 射頻電源 | （13.56MHz） |
| PLC | 三菱 |
| 電氣系統 | 施耐德 |
| 變頻器 | 三菱 |
| 觸摸屏 | 臺灣威綸 |
| 冷卻電極 | 水冷 |
| 真空顯示規管 | 寶睿 |
設備特點(diǎn)
腔體結構說(shuō)明：?jiǎn)屋S電極設計，儲物腔利用電磁驅動(dòng)原理，采用旋轉模式，這樣產(chǎn)品可在腔內無(wú)序全方位接受等離子處理，非常適合小產(chǎn)品大批量的反應。
結構對稱(chēng)，功率損耗小，有效工作能量高；
空間利用率高，提高生產(chǎn)能力，增加產(chǎn)能；
設備運行過(guò)程不需要人員守候，運行完報警提示；
整機程序自動(dòng)化，一個(gè)操作員即可；
氣體流量在觸摸屏設定、精確監控顯示，節約氣源；
設備優(yōu)勢
等離子清洗作為重要的材料表面改性方法，已經(jīng)在眾多領(lǐng)域廣泛使用。相比傳統的一些清洗方法，如超聲波清洗、UV清洗等，具有很多優(yōu)點(diǎn)
處理溫度低。處理溫度可以低至30℃以下，低的處理溫度可以確保對樣品表面無(wú)造成熱影響。
處理全程無(wú)污染，等離子清洗機本身是很環(huán)保的設備，無(wú)產(chǎn)生任何污染，處理過(guò)程也無(wú)產(chǎn)生任何污染?？梢耘c原有生產(chǎn)流水線(xiàn)搭配，實(shí)現全自動(dòng)在線(xiàn)生產(chǎn)，節約人力成本。
處理效果穩定。等離子清洗的處理效果非常均勻穩定，常規樣品處理后較長(cháng)時(shí)間內保持效果良好。
可以處理各種形狀的樣品 對于復雜形狀的樣品，等離子清洗都能找到合適的解決方案。 真空等離子清洗更可實(shí)現對固體樣品內部位置進(jìn)行清洗。
